名称 |
型号 |
主要技术参数 |
主要用途 |
直流偏压电源 |
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1、电源输入 ~220V±10V,50Hz。 2、电源输出 —0~2000V,0~2A(直流)。根据用户需求进行设计。 3、环境温度0~500C,相对湿度≤80%。 4、输出电压/电流/功率自动控制。由于采用了闭环控制,因而,不论负载情况如何(非过流前提下),输出电压/电流/功率都可以根据设定值实时调节,从而达到理想的精度。 5、过流控制保护。负载电流过大时,单片机会有过流保护提示,并且关闭数字可控硅调压模块,停止输出,防止变压器过热损坏,以及其他元器件的烧毁。 6、大功率长时间工作,主变压器温度超过700C时会蜂鸣报警,液晶文字提示过热保护,并停止功率输出。
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本机广泛地应用于科研、半导体工艺、真空镀膜、工业材料加工设备(如:磁控溅射设备、等离子清洗、等离子溅射刻蚀、沉积、活性离子刻蚀等,设备的能源)。
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